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通过持续的技术攻坚，北方华创PVD团队在磁控溅射源设计、高真空静电卡盘、等离子体产生及控制、腔室设计与仿真模拟、颗粒控制、软件控制等多项关键技术上取得一系列突破，构建起具有自主知识产权的核心技术优势。其设备应用跨越半导体领域多个技术代，实现了设备的产业化及对逻辑和存储芯片金属化制程的全面覆盖。在集成电路领域，公司提供的铜互连（Cu Contact）、铝垫层（Al Pad）、金属硬掩膜（Metal Hardmask）、金属栅（Metal Gate）、硅化物（Silicide）等PVD设备，已在客户端稳定量产超千万片，成为多家客户的基线设备和行业优选。其中，金属栅PVD产品成功突破核心工艺，实现稳定量产；铜互连PVD产品可支持芯片内部互连线(Inter Metal)与顶部互连线(Top Metal)工艺的批量生产；铝PVD产品广泛应用于逻辑、DRAM(动态随机存储器)、3D NAND(闪存)等领域，可全覆盖铝垫层（Al Pad）、再布线层(RDL)等工艺所需的1-7微米不同膜厚需求。
